麻豆 在线 易天自动化恳求晶圆 UV 贴膜机专利, 有用栽植了晶圆贴膜着力

发布日期：2024-12-22 06:03    点击次数：84

金融界2024年12月21日音讯麻豆 在线，国度学问产权局信息闪现，深圳市易天自动化竖立股份有限公司恳求一项名为“种晶圆UV贴膜机”的专利，公开号CN119153367A，恳求日历为2024年11月。

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专利摘录闪现，本发明触及一种晶圆UV贴膜机，包括料盒组件、晶圆搬运组件、对位组件、晶圆承载组件、切膜组件、夹膜丢膜组件、贴膜组件和撕膜提拔组件；对位组件用于对晶圆进行精确立异，晶圆承载组件用于将晶圆运载至各模组下方，切膜组件多方向对UV膜卷料切割直至与晶圆体式大小一致，贴膜组件自动施加下压力对晶圆进行贴膜，撕膜提拔组件对已贴膜晶圆的名义贴附撕膜贴。本发明提议全自动化对晶圆进行贴膜，有用栽植了晶圆贴膜着力；本发明提议多个对位相机精确立异晶圆位置，成心于栽植贴膜准确率；本发明提议弃取多个切膜刀对UV卷料进行多方向切割，成心于减少材料损耗，缩小老本；本发明提议贴膜时施加下压力，成心于幸免产不满泡，栽植贴合后果。

本文源自：金融界麻豆 在线